海德漢公司的光學掃描型**值光柵尺或編碼器的測量基準都是周期刻線-光柵。這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。大長度測量用的光柵尺基體為鋼帶。海德漢公司用特別開發的光刻工藝制造精密光柵。
AURODUR:在鍍金鋼帶上蝕刻線條,典型柵距40 μmMETALLUR:抗污染的鍍金層金屬線,典型柵距20 μm
DIADUR:玻璃基體的*
硬鉻線(典型柵距20 μm)或玻璃基體的三維鉻線格柵(典型柵距8 μm)
SUPRADUR相位光柵:光學三維平面格柵線條,*
強抗污能力,典型柵距不*
過8μm
OPTODUR相位光柵:光學三維平面格柵線條,*
高反光性能,典型柵距不*
過2μm。
海德漢的產品在實際運用中一直廣受客戶好評,無論是性能還是耐用性一直是行業*
*
,接下來就介紹一下它的動態性能。機床效率和機床性能的不斷提高必然要求更快的進給速度和更高的加速度,同時還必須保持高水平的加工精度。要快速和準確地傳遞進給運動,就要求機床和直線光柵尺具有更高的剛性。
海德漢公司的直線光柵尺在測量方向的剛性非常高。這是機床能有高質量和高精度運動的前提條件。此外,光柵尺優良的動態性能還來源于其運動部件重量的進一步減輕。
德國海德漢heidenhain公司研發和生產高質量直線光柵尺和角度編碼器、旋轉編碼器、數顯裝置和數控系統。HEIDENHAIN公司的產品被廣泛應用于精密機床、電子元件的生產和加工設備、自動化機器系統,尤其是應用于半導體和電子制造業等*
域。特殊的生產設施和測量設備造就了HEIDENHAIN的高質量產品。光刻的主要和次主要生產過程都是在潔凈室里完成的,潔凈室里配備了特殊的溫度穩定和防振動隔離裝置。仿形機和其它生產直線和角度刻線用的機械設備都是由德國海德漢heidenhain公司自己研發和制造的。
**測量法是指編碼器通電時就可立即得到位置值并隨時供后續信號處理電子電路讀取。無需移軸執行參考點回零操作。**位置信息來自一系列**碼構成的光柵刻線。單*
的增量刻軌信號通過細分生成位置值,同時也能生成供選用的增量信號。增量測量法的光柵由周期性刻線組成。位置信息通過計算自某點開始的增量數獲得。由于必須用**參考點確定位置值,因此在光柵尺或光柵尺帶上還刻有一個帶參考點的軌道。參考點確定的光柵尺**位置值可以準確
到一個測量步距。